ГОСТ 8.592-2009: Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Терминология ГОСТ 8.592-2009: Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления оригинал документа:

3.8 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.

Пример - Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется трапецией.

Определения термина из разных документов: геометрическая форма элемента рельефа

3.9 мера (физической) величины: Средство измерений, предназначенное для воспроизведения и (или) хранения физической величины одного или нескольких заданных размеров, значения которых выражены в установленных единицах и известны с необходимой точностью [1].

Определения термина из разных документов: мера (физической) величины

3.3 одиночный элемент рельефа (поверхности): Элемент рельефа, место расположения которого на поверхности исключает влияние других элементов на результат измерения параметров данного элемента.

Определения термина из разных документов: одиночный элемент рельефа (поверхности)

3.1 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.

Определения термина из разных документов: рельеф поверхности (твердого тела)

3.10 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.

Примечание - Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии или представляет собой специально обработанный объект естественного происхождения.

Определения термина из разных документов: рельефная мера

3.11 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, линейный размер хотя бы одного из которых менее 10^-6 м.

Определения термина из разных документов: рельефная мера нанометрового диапазона

3.12 шаговая структура (рельефа поверхности): Совокупность повторяющихся в определенном направлении элементов рельефа одинаковой геометрической формы.

Примечание - Обычно число повторяющихся элементов в шаговых структурах более 5.

Определения термина из разных документов: шаговая структура (рельефа поверхности)

3.13 ширина элемента рельефа поверхности: Величина отрезка, характеризующая длину верхнего (нижнего) основания геометрического профиля элемента рельефа поверхности.

Определения термина из разных документов: ширина элемента рельефа поверхности

3.2 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа поверхности.

Определения термина из разных документов: элемент рельефа (поверхности)

3.4 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше прилегающих к нему областей.

Определения термина из разных документов: элемент рельефа в форме выступа (выступ)

3.5 элемент рельефа в форме канавки (канавка): Элемент рельефа, расположенный между двумя выступами.

Определения термина из разных документов: элемент рельефа в форме канавки (канавка)

3.7 элемент рельефа в форме линии (линия): Элемент рельефа, линейная длина которого в направлении, перпендикулярном к плоскости минимального по площади сечения, значительно превышает остальные линейные размеры.

Примечание - Линия может представлять собой как выступ, так и канавку.

Определения термина из разных документов: элемент рельефа в форме линии (линия)

3.6 элемент рельефа в форме ступеньки (ступенька): Элемент рельефа, образованный двумя параллельными полуплоскостями и плоской стенкой, соединяющей параллельные границы этих полуплоскостей.

Определения термина из разных документов: элемент рельефа в форме ступеньки (ступенька)